德國馬爾白光干涉儀和共聚焦的3D測量系統(tǒng)

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馬爾MarSurf CWM 100高精度測量

描述

高精度，計算機(jī)控制，亞微米級分辨率的光學(xué)測量儀器MarSurf CWM 100一款結(jié)合白光干涉和共聚焦的3D測量系統(tǒng)。
• 合適技術(shù)，光學(xué)，反射表面，印刷電路板，半導(dǎo)體，以及生物組織的通用測量儀器
• 2D表面分析及測量評價
• 形貌3D分析及測量評價
• 快速測量 — 非常短的測量時間
• 全自動拼接功能，便捷擴(kuò)展測量范圍
• 全自動載物定位平臺：100 mm x 100 mm，更大范圍可供選擇
• 各種物鏡選擇來適應(yīng)測量物體
• 大理石平臺及立柱，JUE對結(jié)實(shí)穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)
• 專業(yè)的評價軟件基于 MountainsMap©

供貨范圍
• 傳感器系統(tǒng)：
- 共聚焦鏡頭KFM 帶6位置轉(zhuǎn)輪
- 相機(jī) 768 pixel x 582 pixel，高達(dá)48 images/s
- CNC控制Z軸，帶Heidenhain玻璃光柵尺
- WLI 軟件模塊，軟件"Inspector"
• 大理石平臺及立柱以及CNC控制載物平臺
• Z軸和XZ平臺多軸控制來進(jìn)行定位和圖像拼接
• 鏡頭 50x0.8 EPI (共聚焦)
• Objective 20x0.4 DI (白光干涉)

應(yīng)用
機(jī)械工程——各種金屬表面 (麿加工，滾筒等.)，激光紋理表面，陶瓷和塑料表面，模具表面
醫(yī)療行業(yè)——植入物，假肢和儀器的金屬，陶瓷和塑料表面
電子行業(yè)——鍍膜表面分析，電子元件和半導(dǎo)體測量和分析
光學(xué)行業(yè)——各種光學(xué)元件的形狀和粗糙度分析(所有材料).